一個完整的CEMS系統(tǒng)由顆粒物監(jiān)測系統(tǒng)、氣態(tài)污染物監(jiān)測系統(tǒng)、煙氣排放參數(shù)監(jiān)測系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)組成。

顆粒物監(jiān)測系統(tǒng):顆粒物一般指直徑為0.01~200μm的固體物質(zhì)，子系統(tǒng)主要包括顆粒物監(jiān)測儀(煙塵計)、反沖洗、數(shù)據(jù)傳輸?shù)容o助部件；

氣態(tài)污染物監(jiān)測系統(tǒng):煙氣中的污染物主要包括二氧化硫、氮氧化物、一氧化碳、二氧化碳、氯化氫、氟化氫、氨氣等。該子系統(tǒng)主要測量煙氣中污染物的成分；

煙氣排放參數(shù)監(jiān)測系統(tǒng):主要監(jiān)測煙氣排放參數(shù)，如溫度、濕度、壓力、流量等。這些參數(shù)在一定程度上與被測氣體的濃度有關(guān)，可以測量被測氣體的濃度；

數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng):對硬件測量得到的數(shù)據(jù)進行采集、處理、轉(zhuǎn)換和顯示，并通過通訊模塊上傳至環(huán)保部門平臺；同時，記錄反吹、故障、校準和維護等時間和設(shè)備狀態(tài)。

隨著“十二五”節(jié)能減排政策的出臺，以及行業(yè)內(nèi)大氣污染物排放標準的修訂和升級，特別是2007年以后，濕法脫硫技術(shù)的廣泛應(yīng)用導(dǎo)致許多顆粒物的濃度低于150 mg/m，因此顆粒物的CEMS將以適合測量低濃度的散射法為主。與此同時，CEMS氣態(tài)污染物將向全光譜分析和線性光譜技術(shù)發(fā)展，測量范圍將逐步向低濃度發(fā)展，追求更高的準確度和精度。